二是残液处理：从氯硅烷分离提纯工序中排除的残液主要是含有四氯化硅和聚氯硅烷化合物的液体以及装置停车放净的氯硅烷液体，送到残液工序加以处理。需要处理的液体被送入残液收集槽。然后用氮气将液体压出，送进尾气洗涤塔组。
因为残液属于废水处理项目，是一种不同于废气的污染物，可能在一整套的污染物处理流程中，会有一些共同使用的设备，比如水旋塔和喷淋嗒，既排出废水，也排出废气，但处理工艺和处理流程还是有所区别的。
为保证安全，本装置设置有一套主要由两台氯化氢降膜吸收器和两套盐酸循环槽、盐酸循环泵组成的氯化氢气体吸收系统，可用水吸收因装置负荷调整或紧急泄放而排出的氯化氢气体。该系统保持连续运转，可随时接收并吸收装置排出的氯化氢气体。
多晶硅因生产过程中产生的副产品四氯化硅有剧毒和腐蚀性，加之生产所需电耗极高，该行业在早年被视作高耗能高污染行业。而冷氢化技术就是将四氯化硅在低温高压环境下转化为三氯氢硅。这样不仅可避免环境污染，生产多晶硅的另一重要原材料三氯氢硅也可在制造过程中循环产生。
.为了方便处理，其收集分类往往分为：a）可燃性物质b）难燃性物质c）含水废液d）固体物质等。3）.可溶于水的物质，容易成为水溶液流失。因此，回收时要加以注意。但是，对甲醇、乙醇及醋酸之类溶剂，能被细菌作用而易于分解。故对这类溶剂的稀溶液经，用大量水稀释后，即可排放。
净化效率：工程师会根据工业的废气成分进行废气处理工艺的制定，在保证了废气设备吸收反应的稳定运行期间，离子净化设备对于含有酸性成分的废气净化效率均可达到85～95%左右。连续式运行：设备的适合能力强，全天24小时不中断持续工作也能够保证设备每一功能的安稳进行。
①、除尘、灭菌、祛除异味、降解有机废气、释放负离子。②、低能耗、风阻小、噪声低。③、抽屉式设计、结构合理、安装简易、维修方便。④、智能化控制、安全保护、控制系统中有定时循环、同步连锁、失效显示、洁净度显示、臭氧浓度显示等。
高科技创新产品：“低温等离子体”技术是电子、化学、催化等综合作用下的电化学过程，是一全新的技术创新领域。是依靠等离子体在瞬间产生的强大电场能量电离、裂解有 害气体的化学键能，从而破坏废气分子结构，达到净化目的。
选型方便：模块化净化单元可以灵活组合，根据不同的净化处理量及净化率要求，单元数量可作适应性调整。设备运行噪声低：优质电机+吸声壳体+独立消声段。符合环保要求。油烟净化效率高：采用机械法（离心分离+过滤）和低温等离子电场相结合。
挥发性有机化合物废气 等离子技术能有效处理含有VOCs的废气，如苯、甲苯等。这些化合物在工业生产过程中产生，对环境和人体健康构成潜在威胁。等离子处理通过高能电子与废气分子的碰撞，使VOCs分子受到激发和分解，转化为低害或无害物质。
低温等离子技术（YPT-3000）应用在工业废气处理、臭味处理上面，现在来看比较具有优势和性价比。
1、烧盐酸的烟气通过氢氧化钠水溶液即可去除。烧盐酸的废气的主要成份为HCl。在废气吸收塔内，循环耐腐泵产生的高压循环液由喷咀产生雾化，并由填料及溶液箱内的二级吸收装置进行处理。
2、烟酸的烟气主要是三氧化硫，所以吸收三氧化硫的，所以一般都用这种方式来吸收。选用硫酸的话是因为硫酸吸收的方式不会产生太大的热量。
3、废气净化 即利用涂附三元催化剂把一氧化碳、碳氢化合物、氮氧化合物有害的三种气体被净化成无害气体排放之外，使用分离装置还可以将废气中的微尘颗粒和水分和与真正要处理的废气气体进行分离，其分离效果达到≥99%以上。废气净化 在催化、净化的同时又实施气体与尘雾的分离处理。
4、现今控制酸气排放的方法主要有：液体吸收法、固体吸附法、过滤法、静电除雾法、机械式除雾法及覆盖法等。下面对这几类方法进行简要介绍。液体吸收法 液体吸收一般包括水洗法和碱液中和法。碱液吸收常用的吸收剂有10%的Na2CO4%~6%的NaOH和NH3等的水溶液。
5、控制酸气排放的方法多种多样，主要包括液体吸收法、固体吸附法、过滤法、静电除雾法和机械式除雾法，以及覆盖法。下面逐一探讨这些方法。首先，液体吸收法采用水洗法和碱液中和，常用的吸收剂有Na2CONaOH和NH3水溶液。净化设备有洗涤塔等，原理是气液充分接触中和酸碱。
6、如果烟气中含有氯化氢、氯气等有害气体成分，而且烟气温度又比较高，应当在排烟之前尽量除去这些有害成分。您的问题中含有水和氯化氢，氯化氢是会被水吸收的，如果水多，就变成稀盐酸了，如果水少，则可以排烟之前加水，将氯化氢变成盐酸排出。
1、结构简单，制造及维修方便，造价低廉，使用寿命长。
2、净化效率高：玻璃钢脱硫塔设计精良，确保了废气与吸收剂的充分接触，从而实现高效脱硫。它的结构紧凑，占地面积小，节省空间的同时，也降低了运行成本。 耐腐蚀性强：由于材质特殊，该塔能够抵抗钢铁、化工等行业的酸性环境，包括含铅、含汞等有害物质的废气，表现出极好的耐腐蚀和耐老化性能。
3、玻璃钢净化塔是利用玻璃钢为塔体的主体，利用玻璃钢所具有的防腐蚀、抗老化、强度高、质量轻等优秀特点。
4、玻璃钢的环境适应性好，不受冬天和夏天气候变化的限制，耐老化性能比硬质聚氯乙烯塑料好。玻璃钢还具有强度高、重量轻的特点，与塑料相比，在同一设备强度相同时用料少。
